,据媒体报道,本月3日,光刻机制造商阿斯麦位于德国柏林的一座工厂发生火灾,大火在当晚被扑灭,没有人员在火灾中受伤,阿斯麦随后也宣布将对火灾的影响进行评估,并对外公布相关的消息。
火灾影响的损坏评估仍在进行中,但阿斯麦方面表示,从目前的情况来看,他们计量和检测产品的产出计划将不会受到影响,因为没有相关的部件在柏林工厂生产。因此,世界各地生产先进工艺的芯片代工企业都在试图引进EUV设备,这使得EUV的供应非常紧张。
虽然火灾未影响到计量和检测产品部件的生产,但阿斯麦位于柏林的工厂,生产DUV和EUV光刻机的部分部件,这两类光刻机部分部件的生产,在火灾中都受到了影响。如果有需求,可以通过增加供给来平衡。。
柏林工厂受火灾影响仍未恢复的,是EUV光刻机一个零部件的生产区域,恢复计划仍在进行中,他们已决定采取相关的措施,将对EUV光刻机客户,产出计划及服务的潜在影响降到最低。
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